ISO 9001:2008
Современные средства измерительной техники
 

Оптический инкрементный линейный энкодер RGH25F UHV

Производство:
Renishaw plc (Великобритания)

Энкодер RGH25F UHV
Энкодер RGH25F UHV


Считывающая головка линейного энкодера RGH25F UHV используется с масштабной лентой RGS20–S компании Renishaw, обеспечивая надежную обратную связь по положению в условиях сверхвысокого вакуума. Прекрасно зарекомендовавшая себя многолетней практикой эксплуатации, головка RGH25F UHV используется по всему миру в полупроводниковых устройствах и научном оборудовании, где требуются исключительная надёжность и самые высокие характеристики.


Совместимость с REF-интерфейсами



С целью повышения эффективности работы и сроков надежной службы интерфейсы серий RGB и RGF были заменены REF–интерфейсом, удовлетворяющим требованиям Директивы RoHS и обеспечивающим динамическую обработку сигналов и разрешение до 5 нм! Считывающая головка RGH25F UHV изготавливается в особо чистых условиях, с использованием материалов и кле`в с малыми показателями газовыделения. Готовое изделие пакуется и герметично запечатывается в специальный мешок с тем, чтобы обеспечить должную чистоту.


Масштабная лента, допускающая использование в вакууме


Масштабная лента RGS20–S отличается высокой повторяемостью результатов измерений и может устанавливаться на подложки из большинства материалов, используемых обычно в полупроводниковой промышленности и секторах, где производится оборудование для научно–исследовательской деятельности. В число таких материалов входят, в частности, инвар (Invar®), Zerodur®, нержавеющая сталь и алюминий. После того как концы шкалы будут закреплены на подложке с использованием эпоксидного клея рекомендуемого типа, изменение состояния шкалы будет соответствовать коэффициенту теплового расширения подложки, и в результате эта система работает так, как если бы градуировка была нанесена на саму подложку.


Результаты анализа состава остаточных газов


Результаты независимого проведения анализа остаточных газов показали пригодность всей системы в целом для работы в вакууме. Система может также подвергаться обезгаживанию при 120 градусах по Цельсию и использоваться затем в условиях сверхвысокого вакуума. Типичные примеры применения этой системы: подача и перемещение полупроводниковых пластин и их проверка, а также проведение научных исследований.




Технические характеристики

Встроенный светодиодный
индикатор положения головки
Да
Диапазон измерения, м: до 50
Длина, м: — оптическая шкала RGS20–S — от 0,1 до 50 (более 50 м – по спецзаказу)
— оптическая шкала RGS20–PC — от 1 до 50
Разрешение цифрового выходного сигнала RS422, нм: 5, 10, 20, 50 , 100, 200, 500, 1000, 5000
Разрешение аналового выходного сигнала: — 1 Vpp
Шаг шкалы, мкм: — оптическая шкала RGS20–S — 20
— оптическая шкала RGS20–PC — 20
Максимальная скорость, м/с: — для цифрового выходного сигнала — до 5
— для аналогового выходного сигнала — до 6
Зазор между считывающей головкой
и оптической шкалой, мм:
0,8 ± 0,1
Точность системы при 20 °С, мкм/м: ± 15 (± 3 — при 2–точечной компенсации)
Вариант исполнения шкалы: — с самоклеющейся основой
Коэффициент теплового расширения, мкм/м/°С: — соответствует материалу подложки, концы шкалы крепятся зажимами
Напряжение питания, В: 5 – 5 % — + 10 %
Ток потребления (без нагрузки), мА: — считывающая головка — 50
— система — 200
Материал: — оптическая шкала RGS20–S — тонкая, гибкая стальная позолоченная полоса с защитным лаковым покрытием
—оптическая шкала RGS20–PC — тонкая, гибкая стальная позолоченная полоса с защитным полиэстерным покрытием для повышенной стойкости к воздействию агресивных химических веществ
Кабель: — гибкий, плетёный, из лужёной меди, с одинарной экранировкой, защищён PTFE–изоляцией
Длина кабеля, м: 1.5, 3, 5 (разъём типа D–sub (15–штырьковый), не применимый в условиях сверхвысокого вакуума, предназначенный для подключения к REF–интерфейсу)
Габариты считывающей головки RGH24 (высота × длина × ширина), мм: 10,5 × 36,0 × 13,5
Масса, г: —считывающая головка — 9
—интерфейс — 100
Масса кабеля, г/м: 23
Референтная (нулевая) метка: Магнитное исполнительное устройство (односторонняя повторяемость до 1 единицы разрешения)
Концевые выключатели: Один выключатель
Температура, °С: — рабочая — от 0 до + 55
— хранения — от – 20 до + 70
— обезгаживания — 120 (только для считывающей головки)
Степень защиты: — считывающая головка — IP40
—интерфейс — IP20
Максимальная влажность
(без конденсации), %:
— рабочая — 80
— хранения — 95
Рабочее ускорение, м/с2: 500
Удар (в нерабочем состоянии,
6 мс, полусинусоидальный
импульс), м/с2:
1000
Вибрация (в режиме
эксплуатации,
при 55 - 2000 Гц), м/с2:
не более 100

Дополнительная информация

Файлы для загрузки:

Описание и технические характеристики