Оптический инкрементный линейный энкодер RGH25F UHV
- Производство:
- Renishaw plc (Великобритания)
- Энкодер RGH25F UHV
Считывающая головка линейного энкодера RGH25F UHV используется с масштабной лентой RGS20–S компании Renishaw, обеспечивая надежную обратную связь по положению в условиях сверхвысокого вакуума. Прекрасно зарекомендовавшая себя многолетней практикой эксплуатации, головка RGH25F UHV используется по всему миру в полупроводниковых устройствах и научном оборудовании, где требуются исключительная надёжность и самые высокие характеристики.
Совместимость с REF-интерфейсами
С целью повышения эффективности работы и сроков надежной службы интерфейсы серий RGB и RGF были заменены REF–интерфейсом, удовлетворяющим требованиям Директивы RoHS и обеспечивающим динамическую обработку сигналов и разрешение до 5 нм!
Считывающая головка RGH25F UHV изготавливается в особо чистых условиях, с использованием материалов и кле`в с малыми показателями газовыделения. Готовое изделие пакуется и герметично запечатывается в специальный мешок с тем, чтобы обеспечить должную чистоту.
Масштабная лента, допускающая использование в вакууме
Масштабная лента RGS20–S отличается высокой повторяемостью результатов измерений и может устанавливаться на подложки из большинства материалов, используемых обычно в полупроводниковой промышленности и секторах, где производится оборудование для научно–исследовательской деятельности. В число таких материалов входят, в частности, инвар (Invar®), Zerodur®, нержавеющая сталь и алюминий. После того как концы шкалы будут закреплены на подложке с использованием эпоксидного клея рекомендуемого типа, изменение состояния шкалы будет соответствовать коэффициенту теплового расширения подложки, и в результате эта система работает так, как если бы градуировка была нанесена на саму подложку.
Результаты анализа состава остаточных газов
Результаты независимого проведения анализа остаточных газов показали пригодность всей системы в целом для работы в вакууме. Система может также подвергаться обезгаживанию при 120 градусах по Цельсию и использоваться затем в условиях сверхвысокого вакуума. Типичные примеры применения этой системы: подача и перемещение полупроводниковых пластин и их проверка, а также проведение научных исследований.
Технические характеристики
| Встроенный светодиодный индикатор положения головки |
Да |
| Диапазон измерения, м: | до 50 |
| Длина, м: | — оптическая шкала RGS20–S — от 0,1 до 50 (более 50 м – по спецзаказу) — оптическая шкала RGS20–PC — от 1 до 50 |
| Разрешение цифрового выходного сигнала RS422, нм: | 5, 10, 20, 50 , 100, 200, 500, 1000, 5000 |
| Разрешение аналового выходного сигнала: | — 1 Vpp |
| Шаг шкалы, мкм: | — оптическая шкала RGS20–S — 20 — оптическая шкала RGS20–PC — 20 |
| Максимальная скорость, м/с: | — для цифрового выходного сигнала — до 5 — для аналогового выходного сигнала — до 6 |
| Зазор между считывающей головкой и оптической шкалой, мм: |
0,8 ± 0,1 |
| Точность системы при 20 °С, мкм/м: | ± 15 (± 3 — при 2–точечной компенсации) |
| Вариант исполнения шкалы: | — с самоклеющейся основой |
| Коэффициент теплового расширения, мкм/м/°С: | — соответствует материалу подложки, концы шкалы крепятся зажимами |
| Напряжение питания, В: | 5 – 5 % — + 10 % |
| Ток потребления (без нагрузки), мА: | — считывающая головка — 50 — система — 200 |
| Материал: | — оптическая шкала RGS20–S — тонкая,
гибкая стальная позолоченная полоса с защитным лаковым покрытием —оптическая шкала RGS20–PC — тонкая, гибкая стальная позолоченная полоса с защитным полиэстерным покрытием для повышенной стойкости к воздействию агресивных химических веществ |
| Кабель: | — гибкий, плетёный, из лужёной меди, с одинарной экранировкой, защищён PTFE–изоляцией |
| Длина кабеля, м: | 1.5, 3, 5 (разъём типа D–sub (15–штырьковый), не применимый в условиях сверхвысокого вакуума, предназначенный для подключения к REF–интерфейсу) |
| Габариты считывающей головки RGH24 (высота × длина × ширина), мм: | 10,5 × 36,0 × 13,5 |
| Масса, г: | —считывающая головка — 9 —интерфейс — 100 |
| Масса кабеля, г/м: | 23 |
| Референтная (нулевая) метка: | Магнитное исполнительное устройство (односторонняя повторяемость до 1 единицы разрешения) |
| Концевые выключатели: | Один выключатель |
| Температура, °С: | — рабочая — от 0 до + 55 — хранения — от – 20 до + 70 — обезгаживания — 120 (только для считывающей головки) |
| Степень защиты: | — считывающая головка — IP40 —интерфейс — IP20 |
| Максимальная влажность (без конденсации), %: |
— рабочая — 80 — хранения — 95 |
| Рабочее ускорение, м/с2: | 500 |
| Удар (в нерабочем состоянии, 6 мс, полусинусоидальный импульс), м/с2: |
1000 |
| Вибрация (в режиме эксплуатации, при 55 - 2000 Гц), м/с2: |
не более 100 |
Смотрите также:
- Оптический инкрементный линейный энкодер RGH22
- Оптический инкрементный линейный энкодер RGH24
- Оптический инкрементный линейный энкодер RGH25F
- Оптический инкрементный линейный энкодер RGH26
Серия оптических инкрементных линейных датчиков RG2
Файлы для загрузки:
Описание и технические характеристики
- Non-contact position encoders guide (EN) (pdf, 10`420 Кб)
