ISO 9001:2008
Сучаснi засоби вимiрювальної технiки
 

Оптичний інкрементний лінійний енкодер RGH25F UHV

Виробництво:
Renishaw plc (Великобританія)

Eнкодер RGH25F UHV
Eнкодер RGH25F UHV


Зчитуюча головка енкодера RGH25F UHV використовується з масштабною стрічкою RGS20-S компанії Renishaw, забезпечуючи надійний зворотній зв´язок по положенню в умовах надвисокого вакууму. Прекрасно зарекомендувала себе багаторічною практикою експлуатації, головка RGH25F UHV використовується по всьому світу в напівпровідникових пристроях і науковому обладнанні, де потрібні виняткова надійність і найвищі характеристики.


Сумісність з REF-інтерфейсами



З метою підвищення ефективності роботи і термінів надійної служби інтерфейси серій RGB і RGF були замінені REF-інтерфейсом, що задовольняє вимогам Директиви RoHS і забезпечує динамічну обробку сигналів і дозвіл до 5 нм! Голівка, що зчитує RGH25F UHV виготовляється в особливо чистих умовах, з використанням матеріалів та клеїв з малими показниками газовиділення. Готовий виріб пакується і герметично запечатується в спеціальний мішок з тим, щоб забезпечити належну чистоту.


Масштабна стрічка, яка допускає використання в вакуумі


Масштабна стрічка RGS20-S відрізняється високою повторюваністю результатів вимірювань і може встановлюватися на підкладки з більшості матеріалів, які звичайно використовуються в напівпровідниковій промисловості і секторах, де виробляється обладнання для науково-дослідницької діяльності. У число таких матеріалів входять, зокрема, інвар (Invar®), Zerodur®, нержавіюча сталь і алюміній. Після того як кінці шкали будуть закріплені на підкладці з використанням епоксидного клею рекомендованого типу, зміна стану шкали буде відповідати коефіцієнту теплового розширення підкладки, і в результаті ця система працює так, як якщо б градуювання було нанесене на саму підкладку.


Результати аналізу складу залишкових газів


Результати незалежного проведення аналізу залишкових газів показали придатність всієї системи в цілому для роботи у вакуумі. Система може також піддаватися знегажуванню при 120 градусах за Цельсієм і використовуватися потім в умовах надвисокого вакууму. Типові приклади застосування цієї системи: подача і переміщення напівпровідникових пластин і їх перевірка, а також проведення наукових досліджень.




Технічні характеристики

Вбудований світлодіодний
індикатор положення головки
Так
Діапазон вимірювання, м: до 50
Довжина, м: — оптична шкала RGS20–S — від 0,1 до 50 (білше 50 м — за спецзамовленням)
— оптична шкала RGS20–PC — від 1 до 50
Роздільна здатність цифрового вихідного сигнала RS422, нм: 5, 10, 20, 50 , 100, 200, 500, 1000, 5000
Роздільна здатність аналового вихідного сигнала: — 1 Vpp
Крок шкали, мкм: — оптична шкала RGS20–S — 20
— оптична шкала RGS20–PC — 20
Максимальна швидкість, м/с: — для цифрового вихідного сигнала — до 5
— для аналогового вихідного сигнала — до 6
Зазор між зчитуючою головкою
та оптичною шкалою, мм:
0,8 ± 0,1
Точність системи при 20 °С, мкм/м: ± 15 (± 3 — при 2–точковій компенсації)
Варіант виконання шкали: — з самоклейкою основою
Коефіціент теплового розширення, мкм/м/°С: — відповідає матеріалу підкладки, кінці шкали кріпляться зажимами
Напруга живлення, В: 5 – 5 % — + 10 %
Струм споживання (без навантаженням), мА: — зчитуюча головка — 50
— система — 200
Матеріал: — оптична шкала RGS20–S — тонка, гнучка сталева позолочена смуга з захисним лаковим покриттям
— оптична шкала RGS20–PC — тонка, гнучка сталева позолочена смуга з захисним поліестерним покриттям для підвищеної стійкості до дії агресивних хімічних речовин
Кабель: — гнучкий, плетений, з лудженої міді, з одинарним екрануванням, захищений PTFE-ізоляцією
Довжина кабеля, м: 1.5, 3, 5 (роз´єм типу D-sub (15-контактний), що не можна застосовувати в умовах надвисокого вакууму, призначений для підключення до REF-інтерфейсу)
Габарити голівки, що зчитує RGH24 (висота × довжина × ширина), мм: 10,5 × 36,0 × 13,5
Маса, г: — зчитуюча головка — 9
— інтерфейс — 100
Маса кабеля, г/м: 23
Референтна (нульова) мітка: Магнітний виконавчий пристрій (одностороння повторюваність до 1 одиниці роздільної здатності)
Кінцеві вимикачі: Один выключатель
Температура, °С: — робоча — від 0 до + 55
— зберігання — від – 20 до + 70
— знегажування - 120 (тільки для голівки, що зчитує)
Ступінь захисту: — зчитуюча головка — IP40
— інтерфейс — IP20
Максимальна вологість
(без конденсації), %:
— робоча — 80
— зберігання — 95
Робоче прискорення, м/с2: 500
Удар (в неробочому стані,
6 мс, напівсинусоїдальний
імпульс), м/с2:
1000
Вібрація (в режимі
експлуатації,
при 55 - 2000 Гц), м/с2:
не більше 100

Додаткова інформація

Файли для завантаження:

Опис і технічні характеристики

  • ПО ТБКОДА
    ТБКОДА

    ПО для учета на весовых дозаторах и парках емкостей

  • VEGAPULS 68
    VEGAPULS 68

    Измерение уровня сыпучих веществ в больших резервуарах