Оптичний інкрементний лінійний енкодер RGH25F UHV
- Виробництво:
- Renishaw plc (Великобританія)
- Eнкодер RGH25F UHV
Зчитуюча головка енкодера RGH25F UHV використовується з масштабною стрічкою RGS20-S компанії Renishaw, забезпечуючи надійний зворотній зв´язок по положенню в умовах надвисокого вакууму. Прекрасно зарекомендувала себе багаторічною практикою експлуатації, головка RGH25F UHV використовується по всьому світу в напівпровідникових пристроях і науковому обладнанні, де потрібні виняткова надійність і найвищі характеристики.
Сумісність з REF-інтерфейсами
З метою підвищення ефективності роботи і термінів надійної служби інтерфейси серій RGB і RGF були замінені REF-інтерфейсом, що задовольняє вимогам Директиви RoHS і забезпечує динамічну обробку сигналів і дозвіл до 5 нм!
Голівка, що зчитує RGH25F UHV виготовляється в особливо чистих умовах, з використанням матеріалів та клеїв з малими показниками газовиділення. Готовий виріб пакується і герметично запечатується в спеціальний мішок з тим, щоб забезпечити належну чистоту.
Масштабна стрічка, яка допускає використання в вакуумі
Масштабна стрічка RGS20-S відрізняється високою повторюваністю результатів вимірювань і може встановлюватися на підкладки з більшості матеріалів, які звичайно використовуються в напівпровідниковій промисловості і секторах, де виробляється обладнання для науково-дослідницької діяльності. У число таких матеріалів входять, зокрема, інвар (Invar®), Zerodur®, нержавіюча сталь і алюміній. Після того як кінці шкали будуть закріплені на підкладці з використанням епоксидного клею рекомендованого типу, зміна стану шкали буде відповідати коефіцієнту теплового розширення підкладки, і в результаті ця система працює так, як якщо б градуювання було нанесене на саму підкладку.
Результати аналізу складу залишкових газів
Результати незалежного проведення аналізу залишкових газів показали придатність всієї системи в цілому для роботи у вакуумі. Система може також піддаватися знегажуванню при 120 градусах за Цельсієм і використовуватися потім в умовах надвисокого вакууму. Типові приклади застосування цієї системи: подача і переміщення напівпровідникових пластин і їх перевірка, а також проведення наукових досліджень.
Технічні характеристики
| Вбудований світлодіодний індикатор положення головки |
Так |
| Діапазон вимірювання, м: | до 50 |
| Довжина, м: | — оптична шкала RGS20–S — від 0,1 до 50 (білше 50 м — за спецзамовленням) — оптична шкала RGS20–PC — від 1 до 50 |
| Роздільна здатність цифрового вихідного сигнала RS422, нм: | 5, 10, 20, 50 , 100, 200, 500, 1000, 5000 |
| Роздільна здатність аналового вихідного сигнала: | — 1 Vpp |
| Крок шкали, мкм: | — оптична шкала RGS20–S — 20 — оптична шкала RGS20–PC — 20 |
| Максимальна швидкість, м/с: | — для цифрового вихідного сигнала — до 5 — для аналогового вихідного сигнала — до 6 |
| Зазор між зчитуючою головкою та оптичною шкалою, мм: |
0,8 ± 0,1 |
| Точність системи при 20 °С, мкм/м: | ± 15 (± 3 — при 2–точковій компенсації) |
| Варіант виконання шкали: | — з самоклейкою основою |
| Коефіціент теплового розширення, мкм/м/°С: | — відповідає матеріалу підкладки, кінці шкали кріпляться зажимами |
| Напруга живлення, В: | 5 – 5 % — + 10 % |
| Струм споживання (без навантаженням), мА: | — зчитуюча головка — 50 — система — 200 |
| Матеріал: | — оптична шкала RGS20–S — тонка,
гнучка сталева позолочена смуга з захисним лаковим покриттям — оптична шкала RGS20–PC — тонка, гнучка сталева позолочена смуга з захисним поліестерним покриттям для підвищеної стійкості до дії агресивних хімічних речовин |
| Кабель: | — гнучкий, плетений, з лудженої міді, з одинарним екрануванням, захищений PTFE-ізоляцією |
| Довжина кабеля, м: | 1.5, 3, 5 (роз´єм типу D-sub (15-контактний), що не можна застосовувати в умовах надвисокого вакууму, призначений для підключення до REF-інтерфейсу) |
| Габарити голівки, що зчитує RGH24 (висота × довжина × ширина), мм: | 10,5 × 36,0 × 13,5 |
| Маса, г: | — зчитуюча головка — 9 — інтерфейс — 100 |
| Маса кабеля, г/м: | 23 |
| Референтна (нульова) мітка: | Магнітний виконавчий пристрій (одностороння повторюваність до 1 одиниці роздільної здатності) |
| Кінцеві вимикачі: | Один выключатель |
| Температура, °С: | — робоча — від 0 до + 55 — зберігання — від – 20 до + 70 — знегажування - 120 (тільки для голівки, що зчитує) |
| Ступінь захисту: | — зчитуюча головка — IP40 — інтерфейс — IP20 |
| Максимальна вологість (без конденсації), %: |
— робоча — 80 — зберігання — 95 |
| Робоче прискорення, м/с2: | 500 |
| Удар (в неробочому стані, 6 мс, напівсинусоїдальний імпульс), м/с2: |
1000 |
| Вібрація (в режимі експлуатації, при 55 - 2000 Гц), м/с2: |
не більше 100 |
Дивіться також:
- Оптичний інкрементний лінійний енкодер RGH22
- Оптичний інкрементний лінійний енкодер RGH24
- Оптичний інкрементний лінійний енкодер RGH25F
- Оптичний інкрементний лінійний енкодер RGH26
Серія оптичних інкрементних лінійних датчиків RG2
Файли для завантаження:
Опис і технічні характеристики
- Non-contact position encoders guide (EN) (pdf, 10`420 Кб)
