Оптический инкрементный линейный энкодер TONiC UHV с масштабной лентой из нержавеющей стали RSLM
- Производство:
- Renishaw plc (Великобритания)
- Энкодер TONiC UHV с масштабной лентой из нержавеющей стали RSLM
Считывающая головка линейного энкодера TONiC UHV может использоваться с высокоточной линейной шкалой RSLM из нержавеющей стали компании Renishaw с оптическими нулевыми метками IN–TRAC™. Эта энкодерная система обеспечивает исключительно надёжную обратную связь по положению в условиях сверхвысокого вакуума. Линейные энкодеры TONiC UHV предназначены для использования в полупроводниковых устройствах и научном оборудовании, где требуются исключительная надёжность и самые высокие характеристики.
Инкрементальная считывающая головка TONiC с высокими характеристиками
Во всех считывающих головках TONiC используется разработанная компанией Renishaw система фильтрации оптического сигнала последнего поколения, усовершенствованная теперь с целью достижения сверхнизкого уровня шума. Эффективность этой новаторской системы усилена еще более за счет динамической обработки сигнала, предусматривающей автоматическую регулировку усиления (АРУ — AGC) и смещения (AOC). Выходные сигналы в этой системе отличаются исключительной чистотой и обеспечивают ошибку подразбиения (SDE) ± 30 нм, уровень шума (джиттера — дрожания фронта сигнала) до 0,51 нм (среднеквадратичное значение) и разрешение до 1 нм.
Во всех шкалах TONiC предусмотрена уникальная оптическая нулевая метка IN–TRAC, встроенная непосредственно в инкрементальный канал, что позволяет выполнять автоматическую электронную синхронизацию простым нажатием кнопки. Это дает возможность осуществлять эту операцию дистанционным образом. Преимущество нулевой метки IN–TRAC состоит также в том, что она остается синхронизированной при любых скоростях и в пределах всего диапазона рабочих температур.
Высокоточные шкалы RSLM для работы в вакууме
Шкалы RSLM из нержавеющей стали отличаются очень высокой точностью и удобством использования благодаря тому, что они реализованы в виде масштабной ленты и предусматривают длины до вплоть 10 м. Все эти достоинства делают такие шкалы особенно удобными в случае осей большой длины, где требуется безукоризненная точность.
Считывающие головки TONiC UHV изготавливаются в особо чистых условиях, с использованием материалов и клеев с малыми показателями газовыделения. Готовое изделие пакуется и герметично запечатывается в специальный мешок с тем, чтобы обеспечить должную чистоту.
Результаты анализа состава остаточных газов
Результаты независимого проведения анализа остаточных газов показали пригодность всей системы в целом для работы в вакууме. Система может также подвергаться обезгаживанию при 120 градусах по Цельсию и использоваться затем в условиях сверхвысокого вакуума. Типичные примеры применения этой системы: подача и перемещение полупроводниковых пластин и их проверка, а также проведение научных исследований.
Технические характеристики
| Встроенный светодиодный индикатор положения головки |
Да |
| Диапазон измерения, м: | до 10 |
| Длина оптической шкалы RSLM, м: | от 0,08 до 10 |
| Разрешение цифрового выходного сигнала RS422, нм: | 1, 5, 10, 20, 50 , 100, 200, 500, 1000, 5000 |
| Разрешение аналового выходного сигнала: | — 1 Vpp |
| Шаг шкалы, мкм: | 20 |
| Максимальная скорость, м/с: | 10 |
| Зазор между считывающей головкой и оптической шкалой, мм: |
2,1 ± 0,15 |
| Точность системы при 20 °С, мкм: | – ± 1,5 (на длине до 1 м) – ± 2,25 (на длине до 2 м) – ± 3 (на длине до 3 м) – ± 4 (на длине до 5 м) |
| Вариант исполнения шкалы: | — c самоклеющейся основой — механически закрепляемая (базовая скоба и зажимы) |
| Коэффициент теплового расширения, мкм/м/°С: | 10,8 |
| Напряжение питания, В: | 5 ± 10 % |
| Ток потребления (без нагрузки), мА: | — < 100 (аналоговая система) — < 200 (цифровая система) |
| Материал оптической шкалы RSLM: | закалённая мартенситная нержавеющая сталь |
| Кабель: | плетёный медный кабель, экранированный в один слой серебряной фольгой, FEP–изоляция жил, нанесенная на лужёную (покрытую оловом) медную проволоку |
| Длина кабеля, м: | 0.5, 1, 1.5, 3, 5, 10 (разъём типа D (15–штырьковый), миниразъём для соединения напрямую с Ti–интерфейсом) |
| Габариты считывающей головки TONiC T1010 (высота × длина × ширина), мм: | 10,0 × 35,0 × 13,5 |
| Масса, г: | — считывающая головка TONiC — 10 — Ti–интерфейс — 100 |
| Масса, г/м: | — оптическая шкала RSLM — 173 — кабель — 14 |
| Референтная (нулевая) метка: | оптическая, IN–TRAC, с автоматической синхронизацией нулевого сигнала |
| Концевые выключатели: | – одиночные, магнитные – парные, магнитные |
| Температура, °С: | — рабочая — от 0 до + 70 — хранения — от – 20 до + 70 – спекания – + 120 |
| Степень защиты: | — считывающая головка TONiC — IP20 — Ti–интерфейс — IP20 |
| Максимальная влажность (без конденсации, при + 40 °C), %: |
95 |
| Рабочее ускорение, м/с2: | 500 |
| Удар (в нерабочем состоянии, 6 мс, полусинусоидальный импульс), м/с2: |
1000 |
| Вибрация (в режиме эксплуатации, при 55 - 2000 Гц), м/с2: |
не более 100 |
Смотрите также:
- Оптический инкрементный линейный энкодер TONiC UHV с масштабной лентой из инвара RELM
Оптический инкрементный линейный датчик TONiC UHV для применения в условиях сверхвысокого вакуума
Файлы для загрузки:
Описание и технические характеристики
- Non-contact position encoders guide (EN) (pdf, 10`420 Кб)
