ISO 9001:2008
Сучаснi засоби вимiрювальної технiки
 

Оптический инкрементный линейный энкодер TONiC UHV с масштабной лентой из инвара RELM

Виробництво:
Renishaw plc (Великобританія)

Энкодер TONiC UHV с  масштабной лентой из инвара RELM
Энкодер TONiC UHV с масштабной лентой из инвара RELM


Считывающая головка линейного энкодера TONiC UHV может использоваться с высокоточной линейной шкалой RELM из инвара (Invar™) компании Renishaw с оптическими нулевыми метками IN–TRAC™. Эта энкодерная система обеспечивает исключительно надёжную обратную связь по положению в условиях сверхвысокого вакуума. Линейные энкодеры TONiC UHV предназначены для использования в полупроводниковых устройствах и научном оборудовании, где требуются исключительная надёжность и самые высокие характеристики.


Инкрементальная считывающая головка TONiC с высокими характеристиками


Во всех считывающих головках TONiC используется разработанная компанией Renishaw система фильтрации оптического сигнала последнего поколения, усовершенствованная теперь с целью достижения сверхнизкого уровня шума. Эффективность этой новаторской системы усилена еще более за счет динамической обработки сигнала, предусматривающей автоматическую регулировку усиления (АРУ — AGC) и смещения (AOC). Выходные сигналы в этой системе отличаются исключительной чистотой и обеспечивают ошибку подразбиения (SDE) ± 30 нм, уровень шума (джиттера — дрожания фронта сигнала) до 0,51 нм (среднеквадратичное значение) и разрешение до 1 нм.


Во всех шкалах TONiC предусмотрена уникальная оптическая нулевая метка IN–TRAC, встроенная непосредственно в инкрементальный канал, что позволяет выполнять автоматическую электронную синхронизацию простым нажатием кнопки. Это дает возможность осуществлять эту операцию дистанционным образом. Преимущество нулевой метки IN–TRAC состоит также в том, что она остается синхронизированной при любых скоростях и в пределах всего диапазона рабочих температур.


Высокоточные шкалы RELM для работы в вакууме


Инварные линейки RELM обеспечивают “нулевой” коэффициент теплового расширения и общую аттестованную точность выше ± 1 мкм на длинах до 1130 мм. Все эти достоинства делают такие шкалы особенно удобными в случае осей большой длины, где требуется безукоризненная точность.


Считывающие головки TONiC UHV изготавливаются в особо чистых условиях, с использованием материалов и клеев с малыми показателями газовыделения. Готовое изделие пакуется и герметично запечатывается в специальный мешок с тем, чтобы обеспечить должную чистоту.


Результаты анализа состава остаточных газов


Результаты независимого проведения анализа остаточных газов показали пригодность всей системы в целом для работы в вакууме. Система может также подвергаться обезгаживанию при 120 градусах по Цельсию и использоваться затем в условиях сверхвысокого вакуума. Типичные примеры применения этой системы: подача и перемещение полупроводниковых пластин и их проверка, а также проведение научных исследований.




Технические характеристики

Встроенный светодиодный
индикатор положения головки
Да
Диапазон измерения, м: от 0,07 до 1,12
Длина оптической шкалы RELM, м: от 0,08 до 1,13
Разрешение цифрового выходного сигнала RS422, нм: 1, 5, 10, 20, 50 , 100, 200, 500, 1000, 5000
Разрешение аналового выходного сигнала: — 1 Vpp
Шаг шкалы, мкм: 20
Максимальная скорость, м/с: 10
Зазор между считывающей головкой
и оптической шкалой, мм:
2,1 ± 0,15
Точность системы при 20 °С, мкм: ± 1
Вариант исполнения шкалы: — c самоклеющейся основой
— механически закрепляемая (базовая скоба и зажимы)
Коэффициент теплового расширения, мкм/м/°С: — ≈ 0,6 (при температуре от 0 °C до + 30 °C)
— менее 1,4 (при температуре от + 30 °C до + 100 °C)
Напряжение питания, В: 5 ± 10 %
Ток потребления (без нагрузки), мА: — < 100 (аналоговая система)
— < 200 (цифровая система)
Материал оптической шкалы RELM: высоко стабилизированный, с низким расширением железо–никелевый сплав (ZeroMet. – инвар)
Кабель: — плетёный медный кабель, экранированный в один слой серебряной фольгой, FEP–изоляция жил, нанесенная на лужёную (покрытую оловом) медную проволоку
Длина кабеля, м: 0.5, 1, 1.5, 3, 5, 10 (разъём типа D (15–штырьковый), миниразъём для соединения напрямую с Ti–интерфейсом)
Габариты считывающей головки TONiC T1010 (высота × длина × ширина), мм: 10,0 × 35,0 × 13,5
Масса, г: — считывающая головка TONiC — 10
— Ti–интерфейс — 100
Масса кабеля, г/м: 14
Референтная (нулевая) метка: оптическая, IN–TRAC, с автоматической синхронизацией нулевого сигнала
Концевые выключатели: – одиночные, магнитные
– парные, магнитные
Температура, °С: — рабочая — от 0 до + 70
— хранения — от – 20 до + 70
– спекания – + 120
Степень защиты: — считывающая головка TONiC — IP20
— Ti–интерфейс — IP20
Максимальная влажность
(без конденсации, при + 40 °C), %:
95
Рабочее ускорение, м/с2: 500
Удар (в нерабочем состоянии,
6 мс, полусинусоидальный
импульс), м/с2:
1000
Вибрация (в режиме
эксплуатации,
при 55 - 2000 Гц), м/с2:
не более 100

Додаткова інформація

Дивіться також:

Файли для завантаження:

Опис і технічні характеристики

  • Уровнемер VEGAPULS 63
    VEGAPULS 63

    Радарный уровнемер для агрессивных жидкостей

  • VEGAPULS 68
    VEGAPULS 68

    Измерение уровня сыпучих веществ в больших резервуарах