ISO 9001:2008
Сучаснi засоби вимiрювальної технiки
 

Оптичний інкрементний лінійний енкодер TONiC UHV з масштабною стрічкою з інвара RELM

Виробництво:
Renishaw plc (Великобританія)

Енкодер TONiC UHV з масштабною стрічкою з інвара RELM
Енкодер TONiC UHV з масштабною стрічкою з інвара RELM


Зчитуюча головка лінійного енкодера TONiC UHV може використовуватися з високоточною лінійною шкалою RELM з інвара (InvarTM) компанії Renishaw з оптичними нульовими мітками IN-TRACTM. Ця енкодерна система забезпечує виключно надійний зворотний зв´язок по положенню в умовах надвисокого вакууму. Лінійні енкодери TONiC UHV призначені для використання в напівпровідникових пристроях і науковому обладнанні, де потрібні виняткова надійність і найвищі характеристики.


Інкрементальна зчитуюча головка TONiC з високими характеристиками


У всіх зчитувальних головках TONiC використовується розроблена компанією Renishaw система фільтрації оптичного сигналу останнього покоління, вдосконалена тепер з метою досягнення наднизького рівня шуму. Ефективність цієї новаторської системи посилена ще більш за рахунок динамічної обробки сигналу, яка передбачає автоматичне регулювання посилення (АРУ - AGC) і зміщення (AOC). Вихідні сигнали в цій системі відрізняються винятковою чистотою і забезпечують помилку підрозбиття (SDE) ± 30 нм, рівень шуму (джиттера - тремтіння фронту сигналу) до 0,51 нм (середньоквадратичне значення) і роздільну здатність до 1 нм.


У всіх шкалах TONiC передбачена унікальна оптична нульова мітка IN-TRAC, вбудована безпосередньо в інкрементальний канал, що дозволяє виконувати автоматичну електронну синхронізацію простим натисканням кнопки. Це дає можливість здійснювати цю операцію дистанційним чином. Перевага нульової мітки IN-TRAC полягає також у тому, що вона залишається синхронізованою при будь-яких швидкостях і в межах усього діапазону робочих температур.


Високоточні шкали RELM для роботи у вакуумі


Інварні лінійки RELM забезпечують "нульовий" коефіцієнт теплового розширення і загальну атестовану точність вище ± 1 мкм на довжинах до 1130 мм. Всі ці переваги роблять такі шкали особливо зручними в разі осей великої довжини, де потрібна бездоганна точність.


Зчитувальні головки TONiC UHV виготовляються в особливо чистих умовах, з використанням матеріалів і клеїв з малими показниками газовиділення. Готовий виріб пакується і герметично запечатується в спеціальний мішок з тим, щоб забезпечити належну чистоту.


Результати аналізу складу залишкових газів


Результати незалежного проведення аналізу залишкових газів показали придатність всієї системи в цілому для роботи у вакуумі. Система може також піддаватися знегажуванню при 120 градусах за Цельсієм і використовуватися потім в умовах надвисокого вакууму. Типові приклади застосування цієї системи: подача і переміщення напівпровідникових пластин і їх перевірка, а також проведення наукових досліджень.




Технічні характеристики

Вбудований світлодіодний
індикатор положення головки
Так
Діапазон вимірювання, м: від 0,07 до 1,12
Довжина оптичної шкали RELM, м: від 0,08 до 1,13
Роздільна здатність цифрового вихідного сигнала RS422, нм: 1, 5, 10, 20, 50 , 100, 200, 500, 1000, 5000
Роздільна здатність аналового вихідного сигнала: — 1 Vpp
Крок шкали, мкм: 20
Максимальна швидкість, м/с: 10
Зазор між зчитуючою головкою
та оптичною шкалою, мм:
2,1 ± 0,15
Точність системи при 20 °С, мкм/м: ± 1
Варіант виконання шкали: — з самоклейкою основою
- механічно закріплюється (базова скоба і затискачі)
Коефіціент теплового розширення, мкм/м/°С: ≈ 0,6 (при температурі від 0 °C до + 30 °C)
— менше 1,4 (при температурі від + 30 °C до + 100 °C)
Напруга живлення, В: 5 ± 10 %
Струм споживання (без навантаженням), мА: — < 100 (аналогова система)
— < 200 (цифрова система)
Матеріал оптичної шкали RELM: високо стабілізований, з низьким розширенням залізо-нікелевий сплав (ZeroMet. - інвар)
Кабель: — плетений мідний кабель, екранований в один шар срібною фольгою, FEP-ізоляція жил, нанесена на луджений (покриту оловом) мідний дріт
Довжина кабеля, м: 0.5, 1, 1.5, 2, 3, 5 (роз´єм типу D (15-контактний), мініроз´єм для з´єднання безпосередньо з Ti-інтерфейсом)
Габарити голівки, що зчитує TONiC T1010 (висота × довжина × ширина), мм: 10,0 × 35,0 × 13,5
Маса, г: голівки, що зчитує TONiC T1010 - 10
- Ti-інтерфейс - 100
Маса кабеля, г/м: 14
Референтна (нульова) мітка: оптична, IN-TRAC, з автоматичною синхронізацією нульового сигналу
Кінцеві вимикачі: – одиночні, магнітні
– парні, магнітні
Температура, °С: — робочая — від 0 до + 70
— зберігання — від – 20 до + 70
– спікання – + 120
Ступінь захисту: зчитуюча головка TONiC — IP40
— Ti–інтерфейс — IP20
Максимальна вологість
(без конденсації, при + 40 °C), %:
95
Робоче прискорення, м/с2: 500
Удар (в неробочому стані,
6 мс, напівсинусоїдальний
імпульс), м/с2:
1000
Вібрація (в режимі
експлуатації,
при 55 - 2000 Гц), м/с2:
не більше 100

Додаткова інформація

Дивіться також:

Файли для завантаження:

Опис і технічні характеристики

  • Уровнемер VEGAPULS 63
    VEGAPULS 63

    Радарный уровнемер для агрессивных жидкостей

  • KGW
    KGW

    Крановые весы для тяжелых условий эксплуатации, включая взвешивание жидкого металла